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真空镀膜机原理和各部件分析

真空镀膜机原理和各部件分析

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  • 来源:
  • 发布时间:2021-09-22
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【概要描述】真空镀膜机是目前制造真空条件广泛使用的真空设备,一般由真空室、真空机、电控盒三个部分组成,排气系统由“扩散泵、机泵、罗茨泵、低温冷却、polycold”组成。本公司专门从事真空镀膜设备的研发和生产,经验丰富的技术团队和售后服务团队解决设备使用过程中出现的所有问题。下面详细介绍了真空镀膜机的各组成部分及工作原理。

真空镀膜机原理和各部件分析

【概要描述】真空镀膜机是目前制造真空条件广泛使用的真空设备,一般由真空室、真空机、电控盒三个部分组成,排气系统由“扩散泵、机泵、罗茨泵、低温冷却、polycold”组成。本公司专门从事真空镀膜设备的研发和生产,经验丰富的技术团队和售后服务团队解决设备使用过程中出现的所有问题。下面详细介绍了真空镀膜机的各组成部分及工作原理。

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真空镀膜机是目前制造真空条件广泛使用的真空设备,一般由真空室、真空机、电控盒三个部分组成,排气系统由“扩散泵、机泵、罗茨泵、低温冷却、polycold”组成。本公司专门从事真空镀膜设备的研发和生产,经验丰富的技术团队和售后服务团队解决设备使用过程中出现的所有问题。下面详细介绍了真空镀膜机的各组成部分及工作原理。

1.真空主体——真空钢根据加工产品要求,真空钢的大小也不同。目前应用多的是直径1.3米、0.9米、1.5米、1.8米等。中空不锈钢,比不锈钢材料大,不生锈,不生锈。

二、镀膜机的辅助进气系统:排气系统是涂层机真空系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)和油扩散泵三部分组成。该排气系统由“扩散泵机械泵罗茨泵低温冷polycold”组成。排气过程提供了机械泵首先将真空腔抽到小于2.0*10-2PA的低真空状态,扩散泵接着抽到真空的前提条件,之后扩散泵抽到真空腔时,机械泵与有扩散泵相关联,以这种方式完成进气动作。

机械泵:机械泵也称为全级泵,是使用广泛的低真空泵,通过用油保持密封效果和依靠机器的方法,不断改变泵内吸入孔的体积,使吸入容器内气体的体积不断膨胀,从而获得真空。

1.机械泵的分类:机械泵有很多种,有四种常用的滑阀、活塞往复式、拼版和旋转芯片。

2.机械泵在大气中开始工作,它的主要参数是极限真空、吸入率,这是设计和选择机械泵的重要依据。泵可以将容器从大气中提取为1.0*10-1PA的极限真空,二级机械泵可以从大气中提取6.7 * 10-2Pa以上的容器。机械泵排气的效果也与电动机的转速和皮带的松动有关。电动机的皮带比较松,电动机速度慢,机泵的排气效果也不好。所以要经常保养,检查,机器泵油的密封效果也要经常检查。油太少,达不到密封效果,泵内漏气,油太多,可以堵住吸入口。

3.镀膜机机械泵经常用于抽干空气,但不能提取氧气含量太高、具有爆炸性和腐蚀性的气体。机械泵通常用于清除气体,但对水分没有好的效果,因此不能清除水分。

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