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真空镀膜机:真空镀膜机的介绍

真空镀膜机:真空镀膜机的介绍

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  • 发布时间:2021-10-08
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【概要描述】对于真空镀膜机,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶,将表面组炸成原子团或离子形式,沉积在基板表面,经过薄膜形成过程,形成薄膜。炉体可以选择不锈钢、碳钢或它们组合制成的双层水冷结构

真空镀膜机:真空镀膜机的介绍

【概要描述】对于真空镀膜机,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶,将表面组炸成原子团或离子形式,沉积在基板表面,经过薄膜形成过程,形成薄膜。炉体可以选择不锈钢、碳钢或它们组合制成的双层水冷结构

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对于真空镀膜机,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶,将表面组炸成原子团或离子形式,沉积在基板表面,经过薄膜形成过程,形成薄膜。炉体可以选择不锈钢、碳钢或它们组合制成的双层水冷结构。

    根据工艺要求,选择电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等多种类型的镀膜设备。夹具的工作形式有自转、公转和公转自转的方式,用户可以根据碎片的大小和形状提出相应的要求、旋转的速度范围和旋转精度,即一般调节和频率调节等。

 

镀膜机的辅助进气系统:排气系统是涂层机真空系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)和油扩散泵三部分组成。该排气系统由“扩散泵机械泵罗茨泵低温冷polycold”组成。排气过程提供了机械泵首先将真空腔抽到小于2.0*10-2PA的低真空状态,扩散泵接着抽到真空的前提条件,之后扩散泵抽到真空腔时,机械泵与有扩散泵相关联,以这种方式完成进气动作。

    镀膜机机械泵:机械泵也称为全级泵,是使用广泛的低真空泵,通过用油保持密封效果和依靠机器的方法,不断改变泵内吸入孔的体积,使吸入容器内气体的体积不断膨胀,从而获得真空。


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