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(工厂)分子泵机组
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(工厂)分子泵机组

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产品详情
参数

型号

 

FJ-620C

FJ-620F

FJ-700

进气口法兰 Flange(In)

 

DN100 ISO-K

DN160 ISO-K

DN160 ISO-K

DN160 CF

DN160 CF

DN160 CF

DN160 ISO-K

DN160 ISO-K

DN160 ISO-K

排气口法兰 Flange(Out)

ISO-KF

DN40

DN40

DN40

抽速速率 Pumping Speed

l/s

N2:600

N2:600

N2:700

He:380

He:380

He:580

H2:240

H2:240

H2:260

Ar:580

Ar:580

Ar:680

压缩比 Compression Ratio

 

N2109

N2109

N2109

He:104

He:105

He:107

H2103

H2104

H2106

Ar:109

Ar:109

Ar:109

极限压强 Ultimate  Pressure  

Pa

CF:6×10-7  

ISO-K:6×10-6  

CF:6×10-8   

ISO-K:6×10-7

CF:6×10-8   

ISO-K:6×10-7  

建议启动压强 recommended forevacuum pressure

Pa

100

100

100

前级泵型号 forevacuum pump

 

RV6( default )

RV6( default )

RV6( default )

冷却方式 Cooling Type,Standard

 

水冷

风冷

水冷、风冷

冷却水流量 Cooling Water Consumpyion

L/min

>1

>1

>1

冷却水温度 Cooling Water Temperature

≤25

≤25

≤25

输入电压频率 Input voltage/ frequency

V/Hz

380±20/50

380±20/50

380±20/50

环境温度(℃)Environment temperature

水冷方式

5℃-40℃

风冷方式

5℃-32℃

安装方式 mounting position

 

垂直 Vertical

垂直 Vertical

垂直 Vertical

适配电源型号Controller Model

 

FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ

FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ

FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ

长×宽×高 L*W*H

(高=地面-过渡腔电离规处)

mm

550×690×956(LF口)

550×690×970(CF口)

550×690×956(LF口)

550×690×970(CF口)

550×690×850(水冷)

550x690x915(风冷)

重量 Weight

kg

117

117

135

  ①选配干泵,具体型号咨询销售人员 Dry pump on request

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