12-29
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20工位陀螺排气台
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参数
设备特点
此设备主要用于为谐振腔提供真空排气、充气和老化的环境，能够对工件进行抽真空和充气，同时又能为器件进行烘烤、除气。结构紧凑，可同时对20个工件进行排气老化。电控与工作台集成设计可大大节省空间。台面上设置可旋转触屏控制板极大的方便用户对设备运行状态的监控。
性能参数
1 极限压力：常温≤2×10-7Pa
2 系统漏率：≤6×10-11Pa.m3/s
3 工件连接阀、充气微调阀和气瓶高阀漏率：≤2×10-11Pa.m3/s
4 管道和阀门耐烘烤最高温度：300℃，管路烘烤温度可控。
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