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超高灵敏度陀螺检漏设备
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超高灵敏度陀螺检漏设备

此超高灵敏度检漏设备,通过分子泵抽气使检漏室达到超高本底,吸气泵将残留在检漏室内部的氢气分子抽出,四极质谱检测从工件泄漏出的所有氦气,提高了陀螺检漏灵敏度,从而提高陀螺仪的控制精度。本系统的最小可检漏率可达1×10-13Pa·m3/s。本设备适用于陀螺、红外探测器杜瓦等微小精密器件超高灵敏度检漏。
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  设备特点

  此超高灵敏度检漏设备,通过分子泵抽气使检漏室达到超高本底,吸气泵将残留在检漏室内部的氢气分子抽出,四极质谱检测从工件泄漏出的所有氦气,提高了陀螺检漏灵敏度,从而提高陀螺仪的控制精度。本系统的最小可检漏率可达1×10-13Pa·m3/s。本设备适用于陀螺、红外探测器杜瓦等微小精密器件超高灵敏度检漏。

  技术性能

  1. 超高真空:极限真空度8×10-7Pa。

  2. 最小可检漏率:1×10-13Pa.m3/s。

  3. 系统漏率: 5×10-12Pa m³/s。

  4. 最高烘烤温度:300℃。

  5. 检漏室尺寸φ320×H300,金属丝密封。

  6. 清洁无油真空系统。

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