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充氦真空系统
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充氦真空系统

充氦真空系统主要用于氦光泵磁力仪组件制备时的抽真空、除气和充气,是八工位、无油超高真空系统。应用于军用磁传感器领域的科学研究。
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参数

应用领域

    充氦真空系统主要用于氦光泵磁力仪组件制备时的抽真空、除气和充气,是八工位、无油超高真空系统。应用于军用磁传感器领域的科学研究。

技术性能

  1. 设备为双真空系统;
  2. 常温、空载状态:工位极限真空度进入10-9Pa量级;钟罩极限真空度5×10-2Pa;
  3. 系统静态真空度:5分钟内优于5×10-5Pa,20分钟内维持在10-5Pa量级;
  4. 工位接口数量:8工位,圆周分布;
  5. 采用真空钟罩对工件进行烘烤,钟罩最高加热温度500℃,工作温度200℃,控温精度±1℃;钟罩升温速率0.2~6℃/min。
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