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红外杜瓦真空排气台
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红外杜瓦真空排气台

该设备主要用于红外杜瓦的真空处理,是无油、超高真空系统,可实现红外杜瓦内真空获得、烘烤除气、工作气体保护、气密性检测等制备工艺过程的控制,具有排气速度快,极限真空度高等特点。设备广泛应用于红外探测、航空、航天等军工业及民用领域。
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参数

  设备特点

  该设备主要用于红外杜瓦的真空处理,是无油、超高真空系统,可实现红外杜瓦内真空获得、烘烤除气、工作气体保护、气密性检测等制备工艺过程的控制,具有排气速度快,极限真空度高等特点。设备广泛应用于红外探测、航空、航天等军工业及民用领域。

  技术性能

  1 工位数为16工位,分两组,每组8个工位;

  2 极限真空度:热态空载状态下真空度达到5~7×10-7Pa;

  3 工位口加热温度80℃,8路温度均匀性±1℃,控温精度±1℃;

  4 工位处配置充N2接口,使在卸下工件时能够充入N2保护;

  5 设有专用检漏口,能够满足每次在安装工件后进行细致氦质谱检漏,以避免漏气状态下进行排气过程。

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