sousuo
产品

产品分类

您现在的位置:
首页
/
/
/
/
直线式劳埃透镜镀制机
浏览量:
1000

直线式劳埃透镜镀制机

直线式劳埃透镜镀制机,是为高能同步辐射光源(HEPS)研发的高端仪器装备,用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多(数千层甚至更多)且膜层位置和厚度精度高(总位置平均误差小于±5nm,每层的厚度误差小于0.1nm)。为了保证每个膜层的厚度精度,采用磁控溅射技术来实现膜片的制备,其优点是,能够精确控制膜层厚度,重复性好,薄膜与基片结合紧密,薄膜纯度高、致密性好。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
产品详情
参数

  直线式劳埃透镜镀制机,是为高能同步辐射光源(HEPS)研发的高端仪器装备,用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多(数千层甚至更多)且膜层位置和厚度精度高(总位置平均误差小于±5nm,每层的厚度误差小于0.1nm)。为了保证每个膜层的厚度精度,采用磁控溅射技术来实现膜片的制备,其优点是,能够精确控制膜层厚度,重复性好,薄膜与基片结合紧密,薄膜纯度高、致密性好。

  性能参数:

  进样室

  本底极限真空度<8×10-5Pa

  腔室漏率<1×10-7Pa.L/s

  基板加热最高温度≥500℃

  沉积室

  极限真空度:<8×10-6Pa

  腔室漏率<1×10-8Pa.L/s

  靶位个数≥9个

  靶与样品间距离60~100mm手动可调

  单个电源可切换的靶位个数≥4个

  基板加热最高温度≥200℃

  运动系统速率稳定性≤0.1% /300mm

  运动系统直线度≤30μm/300mm

  检测室

  极限真空度:<8×10-6Pa

  腔室漏率<1×10-8Pa.L/s

扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
上一个

PRODUCTS CENTER

推荐产品

高真空电磁挡板阀
  高真空电磁挡板阀   极限真空:5×10-6Pa   漏率:10-9Pa·m3/s   工作电压:220V/50Hz   启动间隔:6s   功耗:<3W
查看详情 白箭头 黑箭头

NEWS CENTER

推荐新闻

03-03

中科科美组织召开2021年度计划工作会

3月1日,中科科美组织召开2021年度计划工作会。公司领导、中层管理干部共计14人参加了会议,会议由常务副总经理王新永主持。
02-26

中科科美公司召开党员组织生活会

会议紧扣以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,深入学习贯彻党的十九届五中全会精神,进一步增强“四个意识”,坚定“四个自信”,做到“两个维护”,为实现“率先行动”计划目标要求、建设世界科技强国努力奋斗的主题要求,重点围绕 “为完成公司年度经营任务目标做贡献”、“对公司及支部年度工作的建议”、“营造风清气正的工作氛围”开展建言献策。
02-24

国科环宇公司总经理李壮一行参访中科科美

2月23日,国科环宇公司总经理李壮一行4人莅临中科科美参访交流。公司董事长兼总经理余才林携公司高管、技术总工、技术部经理、营销部经理参加此次交流座谈会。
02-01

中科科美召开2020年度工作总结暨表彰大会

1月18日,中科科美召开2020年度工作总结暨表彰大会,公司全体员工参加了会议。会议由副总经理王新永主持。
返回顶部

北京中科科美科技股份有限公司