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SBC-12小型离子溅射仪
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SBC-12小型离子溅射仪

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。
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参数

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。

应用领域:电镜样品制备(可溅射金、铂、银、铜、铝等)

 

技术指标

金靶尺寸:Ф58毫米

真空检测:皮氏计

电压:220V/50Hz

玻璃处理室:Ф100mm,高度130mm

试样台尺寸:Ф40mm可同时放6个样品杯

真空系统:直联旋片真空泵2L/S

真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空

工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节

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