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SBC-2型多功能试样表面处理机
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SBC-2型多功能试样表面处理机

应用领域: 透射电镜、离子探针、扫描电镜、能谱仪分析等样品制备,理化分析、科学研究等。 主要功能: 具备离子喷涂、离子溅射、离子清洗、蒸碳等功能
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参数

  应用领域:

  透射电镜、离子探针、扫描电镜、能谱仪分析等样品制备,理化分析、科学研究等。

  主要功能:

  具备离子喷涂、离子溅射、离子清洗、蒸碳等功能

  技术指标:

  离子喷涂电流:≤100A连续可调

  离子溅射电压:≤3KV连续可调

  极限真空度:优于2×10-3Pa

  真空腔室尺寸:内径Ф250mm×高度340mm

  离子喷涂玻璃隔离罩尺寸:内径Ф88mm×高度140mm

  溅射镀玻璃隔离罩尺寸:Ф88mm×高度57mm

  试样运动方式:平面旋转、倾斜旋转、进动旋转

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