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继电器

1. 针对不同需求,对产品充气:选用气氛:氢气、氮气、氦气或其他惰性气体; 2. 充气压力:< 0.4MPa,有压力计仪表显示; 3. 钳断:使产品与设备分离。
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  1. 针对不同需求,对产品充气:选用气氛:氢气、氮气、氦气或其他惰性气体;

  2. 充气压力:< 0.4MPa,有压力计仪表显示;

  3. 钳断:使产品与设备分离。

  4. 排除通往产品管路的残留气体,进行下一批产品排气。

  5. 工位数:5 个,可单独或任意多个工位组合工作,每把套密封夹具配一个独立的电磁截止阀,可独立控制每个工位密封夹具;

  6. 排气接口:排气管直径φ 4×50,需快速的接驳在排气工作台接口之上.。

  7. 真空度:主系统极限真空度达到 5×10-6 Pa;

  8. 真空系统为无油系统,采用磁悬浮分子泵、干式机械泵,真空泵采用进口品牌;

  9. 所有涉及真空部件都严格遵守超高真空制造工艺,每条管道、每个阀门都经严格的检漏及清洗除气,保证无污染,漏率低于 1x10-9 Pa.m3/s。

  10. 充气系统:由充气主阀、压力表等组成,充气系统管道按超高真空工艺制造

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