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充氦真空系统
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参数
应用领域
充氦真空系统主要用于氦光泵磁力仪组件制备时的抽真空、除气和充气，是八工位、无油超高真空系统。应用于军用磁传感器领域的科学研究。
技术性能
- 设备为双真空系统；
- 常温、空载状态：工位极限真空度进入10-9Pa量级；钟罩极限真空度5×10-2Pa；
- 系统静态真空度：5分钟内优于5×10-5Pa，20分钟内维持在10-5Pa量级；
- 工位接口数量：8工位，圆周分布；
- 采用真空钟罩对工件进行烘烤，钟罩最高加热温度500℃，工作温度200℃，控温精度±1℃；钟罩升温速率0.2~6℃/min。
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