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热真空环模系统
热真空环模系统用于在地面模拟太空中的“冷黑背景”及“高真空环境”,进行各类航空航天产品在地面开展热真空、热平衡、低气压、放电、长寿命等试验。具有真空度高、控温精度高、自动化程度高、运行稳定可靠等特点。

高压直流继电器排气台
该系统主要用于高压直流继电器系列产品部件进行抽真空、检漏、充气、封口。本设备为直流高压继电器高真空排气台,由分子泵作为抽气主泵,带2或5个工位排气嘴,工位可单个或任意多个工位组合工作。运行过程实现自动化,包括:人工放置继电器,锁紧密封、预抽、高真空排气、充气检漏、封口再检漏等步序。

多工位真空储存柜
多工位真空存储柜是由涡轮分子泵、旋片泵、真空变送器,前级管路、控制系统等组装于机架而成的洁净真空存储设施。具有操作简单,集成度高,应用领域广泛,性能可靠等优点,可应用于半导体元器件、光电元器件、金属材料、精密机械等器件的真空存储。

HF-4A氟油检漏平台
(HF-4A)氟油检漏平台是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。该装置上装备有PLC(可编程程序控制器),对整个检漏过程可以进行一键自动控制和运行,可有效防止误操作和提高检漏效率。而且在该设备的氮气罐上装有光电检测设备,可随时监测罐内的油位。该设备自动化程高,具有较高的可靠性。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用,可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。

JZ-700F分子泵机组
JZ-700F分子泵机组是由涡轮分子泵、旋片泵、真空变送器,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。具有安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠等优点,可广泛应用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术等领域。

JZ-620F分子泵机组
JZ-620F分子泵机组是由涡轮分子泵、旋片泵、真空变送器,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。具有安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠等优点,可广泛应用于表面分析,加速器技术,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术等领域。
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SSC-20离子溅射仪
SSC-20离子溅射仪用于扫描电镜样品镀覆导电膜层,是电镜样品制备的必备仪器


锂电池自动氦检漏装置


高压直流继电器排气台
该系统主要用于高压直流继电器系列产品部件进行抽真空、检漏、充气、封口。本设备为直流高压继电器高真空排气台,由分子泵作为抽气主泵,带2或5个工位排气嘴,工位可单个或任意多个工位组合工作。运行过程实现自动化,包括:人工放置继电器,锁紧密封、预抽、高真空排气、充气检漏、封口再检漏等步序。


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