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一种超高真空排气台的制作方法

发布时间:

2021-09-10 10:41

现在的高真空排气台包括真空腔,在真空腔的上端有载物台,下端中央设有真空阀。 工作台设有尾管台,尾管台与工件连接。 由于尾管台排列在直线上,因此同一批工件进行抽真空作业时,某个工件的吸引口接近真空阀,某个工件的吸引口远离真空阀,某个工件的真空度达到真空时,即前端的工件内的真空度达不到真空