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空调同轴管检漏系统
用于对空调同轴管路进行干式检漏,采用干燥空气对管路进行耐压强度及大漏检测,对被检工价预抽真空和充注氦气,采用真空箱法进行氦质谱气密性检测。然后将被检测工件的的氦气回收循环使用,通过该设备判断出工件整体漏率是否合格。
真空检漏技术半导体器件行业应用
氦气氟油加压检漏装置是专门针对半导体器件、集成电路、电子产品等电子元器件进行细检和粗检的一套自动化检漏装置。它与氦质谱检漏仪和重氟油加热仪配合使用,可以进行电子元器件的整个细检和粗检过程。
柱上开关检漏系统
本系统主要是对电力SF6柱上开关进行干式检漏。通过对工件和真空箱同步抽真空、保压检大漏,合格后对被检工件充注氦气,通过氦质谱检漏仪,判断是否微漏,合格后将被检工件内的氦气回收循环使用,最后向工件内充入SF6气体。如检测到工件微漏,需转移到定点再检漏。
高压开关壳体检漏系统
高压SF6开关设备铝铸造壳体,往往因为铸造缺陷,形成砂眼,且漏孔结构复杂,不易清洗,一旦泄露,采用常规方法很难查找漏点。本系统采用氦质谱检漏技术对铸造壳体进行整体检漏,具备检测精度高、节拍快、可靠性好等诸多优点,有效的保证产品质量。
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