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真空镀膜系统

产业应用镀膜系统

直线式劳埃透镜镀制机

直线式劳埃透镜镀制机，是为高能同步辐射光源（HEPS）研发的高端仪器装备，用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多（数千层甚至更多）且膜层位置和厚度精度高（总位置平均误差小于±5nm，每层的厚度误差小于0.1nm）。为了保证每个膜层的厚度精度，采用磁控溅射技术来实现膜片的制备，其优点是，能够精确控制膜层厚度，重复性好，薄膜与基片结合紧密，薄膜纯度高、致密性好。

倍增级磁控镀膜机

倍增级磁控镀膜机主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中可实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试等功能，可进行数字化编程、程序控制和动态监测，能够实时显示、记录、统计、计算、保存、输出各种运行数据，达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。

MPO专用遮光膜镀膜设备

该设备为高真空电子束蒸镀设备，即利用高能量密度的电子束轰击被镀材料，使其气化并沉积在基片表面；此设备为在石英或其它材料表面沉积镍铬合金或其它单金属、合金；设备由立式前开门水冷真空室、真空系统、工装系统、电子束沉积系统、离子轰击系统、加热系统、测量及监控系统、电控系统、辅助系统（机架、工艺气路、压空气路、冷却水路、附件）等组成。

显示器面板行业—ITO/金属电极研发中试线

该设备为高真空ITO箱式镀膜设备，主要用于沉积AZO、GZO等系列透明导电膜，金属薄膜，半导体薄膜等，也可用于其他功能性薄膜的沉积。

中高温集热管镀膜生产线

Φ70x4060集热管镀膜生产线，产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段，依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室；产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统，工装架装载量20只（Φ70）；工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成，在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热，加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶，接直流电源用于沉积底层金属，工艺2室配2对孪生靶接中频电源；沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层；系统除装卸件外，均自动运行，自动化程度较高，满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。

卧式单体中高温集热管镀膜设备

该设备为Φ1200x6000水冷真空腔室，配移动式公自转工装架，工装架装载量10-20只，公自转工装架点对点自动运行；设备带偏压清洗及辅助沉积功能，工艺加热温度300℃；设备配5只圆柱靶或内装平面靶；可镀Au、Ag、AL、Mo、Cu、Ti等多种底层金属，及由AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷膜；系统满足光干涉膜、金属陶瓷膜等多种选择性吸热膜的研制和小批生产。