中高温集热管镀膜生产线
一、设备特点:
Φ70x4060集热管镀膜生产线,产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室;产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统,工装架装载量20只(Φ70);工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成,在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热,加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶,接直流电源用于沉积底层金属,工艺2室配2对孪生靶接中频电源;沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层;系统除装卸件外,均自动运行,自动化程度较高,满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。
二、性能参数:
1. 生产线尺寸:36655(L)X17500(W)X7000(H)
2. 集热管尺寸:直径范围Φ70-120, 长度4060;
3. 集热管性能:吸收率≥95% 发射率 ≤9%(300℃);
4. 设备产能:5万支/年(20只装);
5. 极限真空:8x10-4Pa,本底真空:3.2x10-3Pa;
6. 工艺加热温度(预处理室、工艺1室):300℃ 铠装加热组件;
7. 磁控靶位:工艺1室:2只;工艺2室:2对孪生靶;
8. 磁控电源:直流 2套 中频 2套;
9. 真空系统:分子泵/前级机组+罗茨粗抽机组;
10. 工艺气体:3路,MFC;反应气体6段供气,各独立可控;
11. 随行工装架数量:6套(20只装);
12. 真空腔室隔离阀:Φ1500气动插板阀 4套;
13. 控制系统:PC+PLC控制模式,自动/手动/修理调试功能转换;多种工艺参数储存,多种互锁安全保护;
14. 系统水电气:总装机功率:约830KW
冷却循环水量:80-100M3/H
压缩空气耗量:2M3/H
NEWS CENTER
推荐新闻
中科科美丨成功入选北京市专精特新“小巨人”名单
镀膜机维护的方法?
联系我们
北京中科科美科技股份有限公司
联系电话:010-61778196
项目交流:18611455296
客户服务:18611455375
投诉电话:18611455295
门市电话:010-82548098
苏州科美:18611455368
联系邮箱:kyvac@kyky.com.cn
联系地址:北京市海淀区中关村北二条13号

公众号

网站
COPYRIGHT © 北京中科科美科技股份有限公司 京ICP备2020044440号-1 网站地图