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一、应用领域：
中科科美提供中高温集热管镀膜整体解决方案。
该设备为太阳能光热产业提供高温集热管真空涂层，可在不锈钢管上沉积选择性吸收膜，保证其有较高的吸收率和极低的发射率。
太阳能高温集热是利用高真空技术和槽式聚光技术，将太阳能转换为高热能，用于城市集中供暧，对于节能减排、促进太阳能光热产业升级，具有重要的意义。
二、性能参数：
1. 工件长度：长度规格2米、4米
2. 不锈钢金属管直径范围：Φ70mm-120mm
3. 吸收率≥95%
4. 发射率 ≤9%（300℃）
5. 镀膜方式：磁控溅射沉积选择性吸收膜
6. 设备产能：5万支/年（MAX）
7. 极限真空：8x10-4Pa，本底真空：3.2x10-3Pa；
8. 工艺加热温度：300℃ 铠装加热组件；
9. 磁控靶：5个；
10. 磁控电源：直流 1套 中频 2套；
11. 偏压电源：1套；
12. 控制系统：PC+PLC控制模式，自动/手动/修理调试功能转换；多种工艺参数储存，多种互锁安全保护；
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