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立式中高温集热管镀膜设备
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参数
一、应用领域:
中科科美提供中高温集热管镀膜整体解决方案。
该设备为太阳能光热产业提供高温集热管真空涂层,可在不锈钢管上沉积选择性吸收膜,保证其有较高的吸收率和极低的发射率。
太阳能高温集热是利用高真空技术和槽式聚光技术,将太阳能转换为高热能,用于城市集中供暧,对于节能减排、促进太阳能光热产业升级,具有重要的意义。
二、性能参数:
1. 工件长度:长度规格2米、4米
2. 不锈钢金属管直径范围:Φ70mm-120mm
3. 吸收率≥95%
4. 发射率 ≤9%(300℃)
5. 镀膜方式:磁控溅射沉积选择性吸收膜
6. 设备产能:5万支/年(MAX)
7. 极限真空:8x10-4Pa,本底真空:3.2x10-3Pa;
8. 工艺加热温度:300℃ 铠装加热组件;
9. 磁控靶:5个;
10. 磁控电源:直流 1套 中频 2套;
11. 偏压电源:1套;
12. 控制系统:PC+PLC控制模式,自动/手动/修理调试功能转换;多种工艺参数储存,多种互锁安全保护;
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