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1. 针对不同需求，对产品充气:选用气氛：氢气、氮气、氦气或其他惰性气体;
2. 充气压力：< 0.4MPa，有压力计仪表显示;
3. 钳断：使产品与设备分离。
4. 排除通往产品管路的残留气体，进行下一批产品排气。
5. 工位数：5 个，可单独或任意多个工位组合工作，每把套密封夹具配一个独立的电磁截止阀，可独立控制每个工位密封夹具;
6. 排气接口：排气管直径φ 4×50，需快速的接驳在排气工作台接口之上.。
7. 真空度：主系统极限真空度达到 5×10-6 Pa;
8. 真空系统为无油系统，采用磁悬浮分子泵、干式机械泵，真空泵采用进口品牌;
9. 所有涉及真空部件都严格遵守超高真空制造工艺，每条管道、每个阀门都经严格的检漏及清洗除气，保证无污染，漏率低于 1x10-9 Pa.m3/s。
10. 充气系统：由充气主阀、压力表等组成，充气系统管道按超高真空工艺制造
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