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本系统主要是对电力SF6柱上开关进行干式检漏。通过对工件和真空箱同步抽真空、保压检大漏，合格后对被检工件充注氦气，通过氦质谱检漏仪，判断是否微漏，合格后将被检工件内的氦气回收循环使用，最后向工件内充入SF6气体。如检测到工件微漏，需转移到定点再检漏。
氦检漏设备有自动滚筒线，和用户的无动力生产线对接，能将工件自动输送进出氦检漏设备的真空箱内，到侧出定点待检工位。
如果工件通过氦检漏设备确认合格，则设备可以对操作过程及测试的各项参数进行显示、保存，工件检漏、充气完成之后可以自动送回生产线。
如果工件通过检测发现泄漏，则设备能准确地测定工件的泄漏率，自动充入氦气，然后传送至生产线，通过生产线传送至漏点待检工位，由检漏仪吸枪，进行漏点测定。
性能特点：
1) 双工位配置每箱检测一件;
2) 工件内外压力差：≦0.03Mpa(可设定)
3) 检漏精度：≦0.5%/年漏气率
4) 充SF6气体压力：0.035Mpa(表压)
5) 充氦压力：0.03Mpa(绝压)
6) 氦气回收率：≧98%
7) 检漏节拍：≦7分钟/件
8) 自动装夹、特别适合流水线作业;
9) 条码扫描、数据存储查询等功能;
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