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真空镀膜机：真空镀膜机的介绍

发布时间：

2021-10-08 11:26

对于真空镀膜机，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶，将表面组炸成原子团或离子形式，沉积在基板表面，经过薄膜形成过程，形成薄膜。炉体可以选择不锈钢、碳钢或它们组合制成的双层水冷结构。

根据工艺要求，选择电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等多种类型的镀膜设备。夹具的工作形式有自转、公转和公转自转的方式，用户可以根据碎片的大小和形状提出相应的要求、旋转的速度范围和旋转精度，即一般调节和频率调节等。

镀膜机的辅助进气系统：排气系统是涂层机真空系统的重要组成部分，主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)和油扩散泵三部分组成。该排气系统由“扩散泵机械泵罗茨泵低温冷polycold”组成。排气过程提供了机械泵首先将真空腔抽到小于2.0*10-2PA的低真空状态，扩散泵接着抽到真空的前提条件，之后扩散泵抽到真空腔时，机械泵与有扩散泵相关联，以这种方式完成进气动作。

镀膜机机械泵：机械泵也称为全级泵，是使用广泛的低真空泵，通过用油保持密封效果和依靠机器的方法，不断改变泵内吸入孔的体积，使吸入容器内气体的体积不断膨胀，从而获得真空。