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真空镀膜机设备有哪些分类

发布时间：

2021-09-14 16:37

你对真空镀膜机设备的分类到底了解多少？据真空设备修理所称，真空镀膜机主要是指真空离子蒸发涂布机、磁控飞溅涂布机、MBE分子束外延涂布机、PLD激光溅射沉积涂布机等需要在高真空度下完成的涂层。

在真空镀膜机设备上，需要涂层的东西成为底座，电镀的材料成为靶子。低音和靶子在一起，在真空河里。蒸发涂层通常是加热靶材料，将表面组蒸发成原子团或离子形式，沉淀在基板表面，通过成膜过程形成薄膜。

对于真空镀膜机，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶，将表面组炸成原子团或离子形式，沉积在基板表面，经过薄膜形成过程，形成薄膜。炉体可以选择不锈钢、碳钢或它们组合制成的双层水冷结构。

根据工艺要求，选择电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等多种类型的镀膜设备。夹具的工作形式有自转、公转和公转自转的方式，用户可以根据碎片的大小和形状提出相应的要求、旋转的速度范围和旋转精度，即一般调节和频率调节等。

介绍不同类型镀膜机的适用范围

1、磁控溅射镀膜设备：适用于磁信息存储、磁光信息存储等信息存储领域

2、磁控溅射镀膜机：适用于飞机发动机叶片、汽车钢板、散热器等保护涂层

3、磁控溅射Al薄膜生产线：适用于太阳能集热器、太阳能电池等太阳能利用领域

4、光学镀膜设备：适用于光学薄膜领域，如ar涂层、高反射膜、阻隔过滤器、防伪膜等。

5、AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线：适用于LCD、等离子屏幕等信息显示领域

6、触摸屏连续镀膜生产线：适用于手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等触摸屏领域。

7、磁控中频多弧离子镀膜设备：适用于硬涂层，如切削刀具、模具、耐磨防腐零件等。

8、PECVD磁控生产线：适用于集成电路制造，如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。

9、蒸发真空镀膜机：适用于手机壳、外壳、眼镜框、五金、道具等装饰配件。

10、低辐射玻璃涂层生产线：适用于太阳能控制膜、低辐射玻璃、防雾及自清洁玻璃等建筑玻璃方面。

11、反射膜连续磁控溅射生产线：适用于平板显示器、平板电视、MP4、车载显示器、手机显示器、数码相机、鼓掌电脑等电子产品领域。