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陀螺真空混气台

1、真空系统极限真空度：5×10-8Pa(至少带4个采样气瓶)　　2、真空系统漏率：5×10-10Pa.m3/S，乙方提供氦质谱检漏仪检测　　3、真空系统要求为完全无油，达到极限真空后四极质谱扫描应无质量数大于44的谱峰。

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　　1、真空系统极限真空度：5×10^-8Pa(至少带4个采样气瓶)

　　2、真空系统漏率：5×10^-10 Pa.m³/S，乙方提供氦质谱检漏仪检测

　　3、真空系统要求为完全无油，达到极限真空后四极质谱扫描应无质量数大于44的谱峰

　　4、真空系统(含四极质谱仪)耐300℃烘烤，采样气瓶耐400℃烘烤，控温精度：±5℃

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