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设备特点
此超高灵敏度检漏设备，通过分子泵抽气使检漏室达到超高本底，吸气泵将残留在检漏室内部的氢气分子抽出，四极质谱检测从工件泄漏出的所有氦气，提高了陀螺检漏灵敏度，从而提高陀螺仪的控制精度。本系统的最小可检漏率可达1×10-13Pa·m3/s。本设备适用于陀螺、红外探测器杜瓦等微小精密器件超高灵敏度检漏。
技术性能
1. 超高真空：极限真空度8×10-7Pa。
2. 最小可检漏率：1×10-13Pa.m3/s。
3. 系统漏率： 5×10-12Pa m³/s。
4. 最高烘烤温度：300℃。
5. 检漏室尺寸φ320×H300，金属丝密封。
6. 清洁无油真空系统。
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