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多工位真空储存柜

多工位真空存储柜是由涡轮分子泵、旋片泵、真空变送器,前级管路、控制系统等组装于机架而成的洁净真空存储设施。具有操作简单,集成度高,应用领域广泛,性能可靠等优点,可应用于半导体元器件、光电元器件、金属材料、精密机械等器件的真空存储。

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