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产品详情
设备特点
主要用于激光陀螺谐振腔的真空处理，是无油、双真空系统，可实现陀螺谐振腔内真空获得、烘烤除气、气体充入、气密性检测等制备工艺手动或自动化控制，具有排气速度快，极限真空度高等特点。设备广泛应用于航空、航天、兵器等军工业及民用领域。
技术性能
1．系统极限真空度（含充气部分）：2×10-7Pa；
2．钟罩极限真空度：5×10-4Pa；
3．钟罩最高烘烤温度：室温到400℃可控可调；
4．充气量精确控制；
5．在线气体组分分析；
6．工件个数：8/16工位可选。
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