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设备特点
该设备主要用于红外杜瓦的真空处理，是无油、超高真空系统，可实现红外杜瓦内真空获得、烘烤除气、工作气体保护、气密性检测等制备工艺过程的控制，具有排气速度快，极限真空度高等特点。设备广泛应用于红外探测、航空、航天等军工业及民用领域。
技术性能
1 工位数为16工位，分两组，每组8个工位；
2 极限真空度：热态空载状态下真空度达到5~7×10-7Pa；
3 工位口加热温度80℃，8路温度均匀性±1℃，控温精度±1℃；
4 工位处配置充N2接口，使在卸下工件时能够充入N2保护；
5 设有专用检漏口，能够满足每次在安装工件后进行细致氦质谱检漏，以避免漏气状态下进行排气过程。
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