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SBC-2型多功能试样表面处理机
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产品详情
参数
应用领域:
透射电镜、离子探针、扫描电镜、能谱仪分析等样品制备,理化分析、科学研究等。
主要功能:
具备离子喷涂、离子溅射、离子清洗、蒸碳等功能
技术指标:
离子喷涂电流:≤100A连续可调
离子溅射电压:≤3KV连续可调
极限真空度:优于2×10-3Pa
真空腔室尺寸:内径Ф250mm×高度340mm
离子喷涂玻璃隔离罩尺寸:内径Ф88mm×高度140mm
溅射镀玻璃隔离罩尺寸:Ф88mm×高度57mm
试样运动方式:平面旋转、倾斜旋转、进动旋转
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SBC-12小型离子溅射仪
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