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产品分类
产品详情
应用领域：
透射电镜、离子探针、扫描电镜、能谱仪分析等样品制备，理化分析、科学研究等。
主要功能：
具备离子喷涂、离子溅射、离子清洗、蒸碳等功能
技术指标：
离子喷涂电流：≤100A连续可调
离子溅射电压：≤3KV连续可调
极限真空度：优于2×10-3Pa
真空腔室尺寸：内径Ф250mm×高度340mm
离子喷涂玻璃隔离罩尺寸：内径Ф88mm×高度140mm
溅射镀玻璃隔离罩尺寸：Ф88mm×高度57mm
试样运动方式：平面旋转、倾斜旋转、进动旋转
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