(研发中心)分子泵机组
型号Model |
单位 Unit |
FJ-80 |
进气口法兰 Flange(In) |
|
DN63 ISO-K |
DN63 CF |
||
排气口法兰 Flange(Out) |
ISO-KF |
DN16 |
抽速速率 Pumping Speed |
l/s |
N2:62 |
He:55 |
||
H2:34 |
||
Ar:65 |
||
压缩比 Compression Ratio |
|
N2: 109 |
He: 105 |
||
H2:104 |
||
Ar:109 |
||
极限压强 ultimate Pressure |
Pa |
3×10-5(ISO-K);5×10-6(CF) |
建议启动压强recommended fore-vacuum pressure |
Pa |
<50 |
前级泵型号forevacuum pump |
|
GHD-031B①(标配 standard) |
冷却方式 Cooling type,Standard |
|
风冷 Air |
冷却水流量 Cooling Water Consumption |
L/min |
>1 |
冷却水温度 Cooling Water Temperature |
℃ |
≤25 |
输入电压频率Input voltage / frequency |
V/Hz |
220±20/50 |
环境温度 environment temperature |
℃ |
5-40 |
安装方式 mounting position |
|
垂直 Veritcal |
适配电源型号Controller Model |
|
|
长×宽×高 L*W*H |
mm |
400×300×260 |
重量 Weight |
kg |
16-21 |
①选配干泵,具体型号咨询销售人员dry pump on request
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