产品
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产品分类
产品详情
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型号 |
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FJ-620C |
FJ-620F |
FJ-700 |
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进气口法兰 Flange（In） |
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DN100 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
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DN160 CF |
DN160 CF |
DN160 CF |
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DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
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排气口法兰 Flange（Out） |
ISO-KF |
DN40 |
DN40 |
DN40 |
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抽速速率 Pumping Speed |
l/s |
N2：600 |
N2：600 |
N2：700 |
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He：380 |
He：380 |
He：580 |
||
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H2：240 |
H2：240 |
H2：260 |
||
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Ar：580 |
Ar：580 |
Ar：680 |
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压缩比 Compression Ratio |
|
N2：109 |
N2：109 |
N2：109 |
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He：104 |
He：105 |
He：107 |
||
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H2：103 |
H2：104 |
H2：106 |
||
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Ar：109 |
Ar：109 |
Ar：109 |
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极限压强 Ultimate Pressure |
Pa |
CF：6×10-7 ISO-K：6×10-6 |
CF：6×10-8 ISO-K：6×10-7 |
CF：6×10-8 ISO-K：6×10-7 |
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建议启动压强 recommended forevacuum pressure |
Pa |
100 |
100 |
100 |
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前级泵型号 forevacuum pump |
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RV6（ default ） |
RV6（ default ） |
RV6（ default ） |
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冷却方式 Cooling Type,Standard |
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水冷 |
风冷 |
水冷、风冷 |
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冷却水流量 Cooling Water Consumpyion |
L/min |
>1 |
>1 |
>1 |
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冷却水温度 Cooling Water Temperature |
℃ |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
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输入电压频率 Input voltage/ frequency |
V/Hz |
380±20/50 |
380±20/50 |
380±20/50 |
|
环境温度（℃）Environment temperature |
水冷方式 |
5℃-40℃ |
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风冷方式 |
5℃-32℃ |
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安装方式 mounting position |
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垂直 Vertical |
垂直 Vertical |
垂直 Vertical |
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适配电源型号Controller Model |
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FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
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长×宽×高 L*W*H （高=地面-过渡腔电离规处） |
mm |
550×690×956（LF口） 550×690×970（CF口） |
550×690×956（LF口） 550×690×970（CF口） |
550×690×850(水冷) 550x690x915（风冷） |
|
重量 Weight |
kg |
117 |
117 |
135 |
①选配干泵，具体型号咨询销售人员 Dry pump on request
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