(工厂)分子泵机组
型号 |
|
FJ-620C |
FJ-620F |
FJ-700 |
进气口法兰 Flange(In) |
|
DN100 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 CF |
DN160 CF |
DN160 CF |
||
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
DN160 ISO-K |
||
排气口法兰 Flange(Out) |
ISO-KF |
DN40 |
DN40 |
DN40 |
抽速速率 Pumping Speed |
l/s |
N2:600 |
N2:600 |
N2:700 |
He:380 |
He:380 |
He:580 |
||
H2:240 |
H2:240 |
H2:260 |
||
Ar:580 |
Ar:580 |
Ar:680 |
||
压缩比 Compression Ratio |
|
N2:109 |
N2:109 |
N2:109 |
He:104 |
He:105 |
He:107 |
||
H2:103 |
H2:104 |
H2:106 |
||
Ar:109 |
Ar:109 |
Ar:109 |
||
极限压强 Ultimate Pressure |
Pa |
CF:6×10-7 ISO-K:6×10-6 |
CF:6×10-8 ISO-K:6×10-7 |
CF:6×10-8 ISO-K:6×10-7 |
建议启动压强 recommended forevacuum pressure |
Pa |
100 |
100 |
100 |
前级泵型号 forevacuum pump |
|
RV6( default ) |
RV6( default ) |
RV6( default ) |
冷却方式 Cooling Type,Standard |
|
水冷 |
风冷 |
水冷、风冷 |
冷却水流量 Cooling Water Consumpyion |
L/min |
>1 |
>1 |
>1 |
冷却水温度 Cooling Water Temperature |
℃ |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
输入电压频率 Input voltage/ frequency |
V/Hz |
380±20/50 |
380±20/50 |
380±20/50 |
环境温度(℃)Environment temperature |
水冷方式 |
5℃-40℃ |
||
风冷方式 |
5℃-32℃ |
|||
安装方式 mounting position |
|
垂直 Vertical |
垂直 Vertical |
垂直 Vertical |
适配电源型号Controller Model |
|
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
长×宽×高 L*W*H (高=地面-过渡腔电离规处) |
mm |
550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口) |
550×690×956(LF口) 550×690×970(CF口) |
550×690×850(水冷) 550x690x915(风冷) |
重量 Weight |
kg |
117 |
117 |
135 |
①选配干泵,具体型号咨询销售人员 Dry pump on request
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