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中高温集热管镀膜生产线
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中高温集热管镀膜生产线

Φ70x4060集热管镀膜生产线,产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室;产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统,工装架装载量20只(Φ70);工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成,在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热,加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶,接直流电源用于沉积底层金属,工艺2室配2对孪生靶接中频电源;沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层;系统除装卸件外,均自动运行,自动化程度较高,满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。
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参数

  一、设备特点:

  Φ70x4060集热管镀膜生产线,产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室;产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统,工装架装载量20只(Φ70);工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成,在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热,加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶,接直流电源用于沉积底层金属,工艺2室配2对孪生靶接中频电源;沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层;系统除装卸件外,均自动运行,自动化程度较高,满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。

  二、性能参数:

  1. 生产线尺寸:36655(L)X17500(W)X7000(H)

  2. 集热管尺寸:直径范围Φ70-120, 长度4060;

  3. 集热管性能:吸收率≥95%  发射率 ≤9%(300℃);

  4. 设备产能:5万支/年(20只装);

  5. 极限真空:8x10-4Pa,本底真空:3.2x10-3Pa;

  6. 工艺加热温度(预处理室、工艺1室):300℃ 铠装加热组件;

  7. 磁控靶位:工艺1室:2只;工艺2室:2对孪生靶;

  8. 磁控电源:直流  2套     中频   2套;

  9. 真空系统:分子泵/前级机组+罗茨粗抽机组;

  10. 工艺气体:3路,MFC;反应气体6段供气,各独立可控;

  11. 随行工装架数量:6套(20只装);

  12. 真空腔室隔离阀:Φ1500气动插板阀  4套;

  13. 控制系统:PC+PLC控制模式,自动/手动/修理调试功能转换;多种工艺参数储存,多种互锁安全保护;

  14. 系统水电气:总装机功率:约830KW

  冷却循环水量:80-100M3/H

  压缩空气耗量:2M3/H

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