sousuo
产品

产品分类

您现在的位置:
首页
/
/
/
/
中高温集热管镀膜生产线
浏览量:
1000

中高温集热管镀膜生产线

Φ70x4060集热管镀膜生产线,产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室;产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统,工装架装载量20只(Φ70);工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成,在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热,加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶,接直流电源用于沉积底层金属,工艺2室配2对孪生靶接中频电源;沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层;系统除装卸件外,均自动运行,自动化程度较高,满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
数量
-
+
库存:
产品详情
参数

  一、设备特点:

  Φ70x4060集热管镀膜生产线,产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室;产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统,工装架装载量20只(Φ70);工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成,在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热,加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶,接直流电源用于沉积底层金属,工艺2室配2对孪生靶接中频电源;沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层;系统除装卸件外,均自动运行,自动化程度较高,满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。

  二、性能参数:

  1. 生产线尺寸:36655(L)X17500(W)X7000(H)

  2. 集热管尺寸:直径范围Φ70-120, 长度4060;

  3. 集热管性能:吸收率≥95%  发射率 ≤9%(300℃);

  4. 设备产能:5万支/年(20只装);

  5. 极限真空:8x10-4Pa,本底真空:3.2x10-3Pa;

  6. 工艺加热温度(预处理室、工艺1室):300℃ 铠装加热组件;

  7. 磁控靶位:工艺1室:2只;工艺2室:2对孪生靶;

  8. 磁控电源:直流  2套     中频   2套;

  9. 真空系统:分子泵/前级机组+罗茨粗抽机组;

  10. 工艺气体:3路,MFC;反应气体6段供气,各独立可控;

  11. 随行工装架数量:6套(20只装);

  12. 真空腔室隔离阀:Φ1500气动插板阀  4套;

  13. 控制系统:PC+PLC控制模式,自动/手动/修理调试功能转换;多种工艺参数储存,多种互锁安全保护;

  14. 系统水电气:总装机功率:约830KW

  冷却循环水量:80-100M3/H

  压缩空气耗量:2M3/H

扫二维码用手机看
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加

PRODUCTS CENTER

推荐产品

高真空电磁挡板阀
  高真空电磁挡板阀   极限真空:5×10-6Pa   漏率:10-9Pa·m3/s   工作电压:220V/50Hz   启动间隔:6s   功耗:<3W
查看详情 白箭头 黑箭头

NEWS CENTER

推荐新闻

09-22

真空镀膜机原理和各部件分析

真空镀膜机是目前制造真空条件广泛使用的真空设备,一般由真空室、真空机、电控盒三个部分组成,排气系统由“扩散泵、机泵、罗茨泵、低温冷却、polycold”组成。本公司专门从事真空镀膜设备的研发和生产,经验丰富的技术团队和售后服务团队解决设备使用过程中出现的所有问题。下面详细介绍了真空镀膜机的各组成部分及工作原理。
09-16

一种真空镀膜系统装置的制作方法

真空镀膜系统是在真空条件下对薄膜器件进行镀膜的设备。为了提高生产效率,真空镀膜系统通常有输送待涂覆的基材或装载有多个待涂覆基材的载板。现有轧辊一般为金属轧辊,采用圆柱形整体金属结构。待镀基板或载体与金属滚筒接触,由滚筒驱动实现传动。待镀基板或载体的电流通过金属辊传导至腔体,实现镀膜放电。然而,待镀基板或载体与金属辊相切,两者硬接触,使得待镀基板或载体在传输过程中振动。结果,待镀基板或载体被划
09-14

真空镀膜机设备有哪些分类

你对真空镀膜机设备的分类到底了解多少?据真空设备修理所称,真空镀膜机主要是指真空离子蒸发涂布机、磁控飞溅涂布机、MBE分子束外延涂布机、PLD激光溅射沉积涂布机等需要在高真空度下完成的涂层。
09-10

一种超高真空排气台的制作方法

 现在的高真空排气台包括真空腔,在真空腔的上端有载物台,下端中央设有真空阀。 工作台设有尾管台,尾管台与工件连接。 由于尾管台排列在直线上,因此同一批工件进行抽真空作业时,某个工件的吸引口接近真空阀,某个工件的吸引口远离真空阀,某个工件的真空度达到真空时,即前端的工件内的真空度达不到真空, 这是原因之一。同时电力只有具有较高的瓦特数才能满足使用要求,但这提高了用电量,增加了能耗,提高了生产成本,而
返回顶部

北京中科科美科技股份有限公司