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大科学工程配套真空系统
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蒸锑台倍增级磁控镀膜机

倍增级磁控镀膜机主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中可实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试等功能,可进行数字化编程、程序控制和动态监测,能够实时显示、记录、统计、计算、保存、输出各种运行数据,达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。
产品名称

MPO专用遮光膜镀膜设备

该设备为高真空电子束蒸镀设备,即利用高能量密度的电子束轰击被镀材料,使其气化并沉积在基片表面;此设备为在石英或其它材料表面沉积镍铬合金或其它单金属、合金;设备由立式前开门水冷真空室、真空系统、工装系统、电子束沉积系统、离子轰击系统、加热系统、测量及监控系统、电控系统、辅助系统(机架、工艺气路、压空气路、冷却水路、附件)等组成。
产品名称

多工位真空镀膜及封接检测设备

设备可完成光电倍增管高温真空除气、阴极激活、阴极转移、MCP清刷、铟封等多道关键制备工序,是多种运动方式同时存在的复杂系统。主要应用于中微子探测试验、高能物理探测和单光子探测领域。
产品名称

(工厂)分子泵机组

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(研发中心)分子泵机组

产品名称

倍增级磁控镀膜机

倍增级磁控镀膜机主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中可实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试等功能,可进行数字化编程、程序控制和动态监测,能够实时显示、记录、统计、计算、保存、输出各种运行数据,达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。
产品名称

MPO专用遮光膜镀膜设备

该设备为高真空电子束蒸镀设备,即利用高能量密度的电子束轰击被镀材料,使其气化并沉积在基片表面;此设备为在石英或其它材料表面沉积镍铬合金或其它单金属、合金;设备由立式前开门水冷真空室、真空系统、工装系统、电子束沉积系统、离子轰击系统、加热系统、测量及监控系统、电控系统、辅助系统(机架、工艺气路、压空气路、冷却水路、附件)等组成。
产品名称

超高真空排气台

应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃等光电子玻璃产品的制造。
产品名称

多工位真空镀膜及封接检测设备

设备可完成光电倍增管高温真空除气、阴极激活、阴极转移、MCP清刷、铟封等多道关键制备工序,是多种运动方式同时存在的复杂系统。主要应用于中微子探测试验、高能物理探测和单光子探测领域。
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红外杜瓦真空排气台

该设备主要用于红外杜瓦的真空处理,是无油、超高真空系统,可实现红外杜瓦内真空获得、烘烤除气、工作气体保护、气密性检测等制备工艺过程的控制,具有排气速度快,极限真空度高等特点。设备广泛应用于红外探测、航空、航天等军工业及民用领域。
产品名称

高真空排气台

应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃等光电子玻璃产品的制造。
产品名称

激光陀螺真空充排气系统

主要用于激光陀螺谐振腔的真空处理,是无油、双真空系统,可实现陀螺谐振腔内真空获得、烘烤除气、气体充入、气密性检测等制备工艺手动或自动化控制,具有排气速度快,极限真空度高等特点。设备广泛应用于航空、航天、兵器等军工业及民用领域。
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