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产业应用镀膜系统
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直线式劳埃透镜镀制机

直线式劳埃透镜镀制机,是为高能同步辐射光源(HEPS)研发的高端仪器装备,用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多(数千层甚至更多)且膜层位置和厚度精度高(总位置平均误差小于±5nm,每层的厚度误差小于0.1nm)。为了保证每个膜层的厚度精度,采用磁控溅射技术来实现膜片的制备,其优点是,能够精确控制膜层厚度,重复性好,薄膜与基片结合紧密,薄膜纯度高、致密性好。
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倍增级磁控镀膜机

倍增级磁控镀膜机主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中可实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试等功能,可进行数字化编程、程序控制和动态监测,能够实时显示、记录、统计、计算、保存、输出各种运行数据,达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。
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MPO专用遮光膜镀膜设备

该设备为高真空电子束蒸镀设备,即利用高能量密度的电子束轰击被镀材料,使其气化并沉积在基片表面;此设备为在石英或其它材料表面沉积镍铬合金或其它单金属、合金;设备由立式前开门水冷真空室、真空系统、工装系统、电子束沉积系统、离子轰击系统、加热系统、测量及监控系统、电控系统、辅助系统(机架、工艺气路、压空气路、冷却水路、附件)等组成。
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显示器面板行业—ITO/金属电极研发中试线

该设备为高真空ITO箱式镀膜设备,主要用于沉积AZO、GZO等系列透明导电膜,金属薄膜,半导体薄膜等,也可用于其他功能性薄膜的沉积。
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中高温集热管镀膜生产线

Φ70x4060集热管镀膜生产线,产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室;产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统,工装架装载量20只(Φ70);工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成,在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热,加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶,接直流电源用于沉积底层金属,工艺2室配2对孪生靶接中频电源;沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层;系统除装卸件外,均自动运行,自动化程度较高,满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。
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卧式单体中高温集热管镀膜设备

该设备为Φ1200x6000水冷真空腔室,配移动式公自转工装架,工装架装载量10-20只,公自转工装架点对点自动运行;设备带偏压清洗及辅助沉积功能,工艺加热温度300℃;设备配5只圆柱靶或内装平面靶;可镀Au、Ag、AL、Mo、Cu、Ti等多种底层金属,及由AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷膜;系统满足光干涉膜、金属陶瓷膜等多种选择性吸热膜的研制和小批生产。
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立式中高温集热管镀膜设备

中科科美提供中高温集热管镀膜整体解决方案。

  该设备为太阳能光热产业提供高温集热管真空涂层,可在不锈钢管上沉积选择性吸收膜,保证其有较高的吸收率和极低的发射率。
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多工位真空镀膜及封接检测设备

设备可完成光电倍增管高温真空除气、阴极激活、阴极转移、MCP清刷、铟封等多道关键制备工序,是多种运动方式同时存在的复杂系统。主要应用于中微子探测试验、高能物理探测和单光子探测领域。
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09-27

一种高效真空镀膜系统的制作方法

真空镀膜机已经普及到各行各业,大部分彩色物体都是通过镀膜来完成的。真空镀膜系统用于真空镀膜产品。在现有的真空镀膜系统中,由于镀膜材料浓度上升缓慢,低浓度雾化镀膜材料的镀膜效率低,导致镀膜时间长,而高浓度雾化镀膜材料的镀膜时间短,但会造成大量浪费。涂层本身用于改变工件的表面特性。为了使工件表面获得多种不同的性能,往往需要对工件进行多次涂覆。因此,需要在不同的涂布机之间转换涂布的工件,以获得不同的涂
09-22

真空镀膜机原理和各部件分析

真空镀膜机是目前制造真空条件广泛使用的真空设备,一般由真空室、真空机、电控盒三个部分组成,排气系统由“扩散泵、机泵、罗茨泵、低温冷却、polycold”组成。本公司专门从事真空镀膜设备的研发和生产,经验丰富的技术团队和售后服务团队解决设备使用过程中出现的所有问题。下面详细介绍了真空镀膜机的各组成部分及工作原理。
09-16

一种真空镀膜系统装置的制作方法

真空镀膜系统是在真空条件下对薄膜器件进行镀膜的设备。为了提高生产效率,真空镀膜系统通常有输送待涂覆的基材或装载有多个待涂覆基材的载板。现有轧辊一般为金属轧辊,采用圆柱形整体金属结构。待镀基板或载体与金属滚筒接触,由滚筒驱动实现传动。待镀基板或载体的电流通过金属辊传导至腔体,实现镀膜放电。然而,待镀基板或载体与金属辊相切,两者硬接触,使得待镀基板或载体在传输过程中振动。结果,待镀基板或载体被划
09-14

真空镀膜机设备有哪些分类

你对真空镀膜机设备的分类到底了解多少?据真空设备修理所称,真空镀膜机主要是指真空离子蒸发涂布机、磁控飞溅涂布机、MBE分子束外延涂布机、PLD激光溅射沉积涂布机等需要在高真空度下完成的涂层。
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