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产业应用镀膜系统
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直线式劳埃透镜镀制机

直线式劳埃透镜镀制机,是为高能同步辐射光源(HEPS)研发的高端仪器装备,用于制备硬X射线纳米聚焦的劳埃透镜膜层。最主要的特点是膜层层数多(数千层甚至更多)且膜层位置和厚度精度高(总位置平均误差小于±5nm,每层的厚度误差小于0.1nm)。为了保证每个膜层的厚度精度,采用磁控溅射技术来实现膜片的制备,其优点是,能够精确控制膜层厚度,重复性好,薄膜与基片结合紧密,薄膜纯度高、致密性好。
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倍增级磁控镀膜机

倍增级磁控镀膜机主要应用于光电倍增管倍增级表面的锑膜镀制。在膜层制备过程中可实现对光电倍增管的倍增级基底进行烘烤除气、离子轰击清洁、膜层沉积和偏电压辅助、膜厚工艺测试等功能,可进行数字化编程、程序控制和动态监测,能够实时显示、记录、统计、计算、保存、输出各种运行数据,达到精确控制膜厚和沉积均匀性的要求。
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MPO专用遮光膜镀膜设备

该设备为高真空电子束蒸镀设备,即利用高能量密度的电子束轰击被镀材料,使其气化并沉积在基片表面;此设备为在石英或其它材料表面沉积镍铬合金或其它单金属、合金;设备由立式前开门水冷真空室、真空系统、工装系统、电子束沉积系统、离子轰击系统、加热系统、测量及监控系统、电控系统、辅助系统(机架、工艺气路、压空气路、冷却水路、附件)等组成。
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显示器面板行业—ITO/金属电极研发中试线

该设备为高真空ITO箱式镀膜设备,主要用于沉积AZO、GZO等系列透明导电膜,金属薄膜,半导体薄膜等,也可用于其他功能性薄膜的沉积。
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中高温集热管镀膜生产线

Φ70x4060集热管镀膜生产线,产线主体Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次为预处理室、工艺1室、工艺2室和出样室;产线配移动式公自转工装架及工装架闭环输送系统,工装架装载量20只(Φ70);工装架闭环输送系统由横移车及直线输送线组成,在闭环输送系统中工装架自动运行。预处理室、工艺1室带加热,加热温度300℃。工艺1室配2只圆柱靶或内装平面靶,接直流电源用于沉积底层金属,工艺2室配2对孪生靶接中频电源;沉积AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷本征吸收层;系统除装卸件外,均自动运行,自动化程度较高,满足光干涉膜、金属陶瓷膜等选择性吸热膜的批生产需要。
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卧式单体中高温集热管镀膜设备

该设备为Φ1200x6000水冷真空腔室,配移动式公自转工装架,工装架装载量10-20只,公自转工装架点对点自动运行;设备带偏压清洗及辅助沉积功能,工艺加热温度300℃;设备配5只圆柱靶或内装平面靶;可镀Au、Ag、AL、Mo、Cu、Ti等多种底层金属,及由AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷膜;系统满足光干涉膜、金属陶瓷膜等多种选择性吸热膜的研制和小批生产。
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立式中高温集热管镀膜设备

中科科美提供中高温集热管镀膜整体解决方案。

  该设备为太阳能光热产业提供高温集热管真空涂层,可在不锈钢管上沉积选择性吸收膜,保证其有较高的吸收率和极低的发射率。
产品名称

多工位真空镀膜及封接检测设备

设备可完成光电倍增管高温真空除气、阴极激活、阴极转移、MCP清刷、铟封等多道关键制备工序,是多种运动方式同时存在的复杂系统。主要应用于中微子探测试验、高能物理探测和单光子探测领域。
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